檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Thin film".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="陽極層"
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本研究提出了一種整合式陽極層離子源離子束濺鍍模組(Integrated Anode Layer Ion Source Ion Beam Sputtering Module, IAIBS),並建立粒子…